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［半導體產業］

高階工程塑膠螺絲應用於半導體產業中的高性能塑膠材料與其製成品，這些材料通常具有優異的耐熱性、耐化學性、絕緣性與機械強度。

常見的高階工程塑膠螺絲材料與應用
PEEK
高性能工程塑膠螺絲
聚醚醚酮
特性
  • 長期使用溫度約 250°C，短時間可耐更高溫度
  • 可耐多數酸、鹼、有機溶劑及油品腐蝕
  • 高強度與剛性、電氣絕緣性佳
  • 耐水解與蒸氣、阻燃且低煙低毒
半導體產業相關應用
。晶圓搬運夾具
。製程夾具
。IC封裝設備零件
PPS
高階工程塑膠螺絲
聚苯硫醚
特性
  • 長期使用溫度約為 200 ~ 220°C
  • 耐酸、耐鹼、耐多數有機溶劑
  • 抗油脂、清洗藥液與製程化學品
  • 電氣絕緣性能佳
半導體產業相關應用
。檢測設備零組件
。感測器外殼
。絕緣固定座
PVDF
高階工程塑膠螺絲
聚偏二氟乙烯
特性
  • 長期使用溫度約為 140 ~ 150°C
  • 極佳耐化學性、良好耐熱與耐 候性
  • 幾乎耐所有酸、鹼與化學藥液
  • 對氯系、氟系、強氧化性藥品 具優異耐受性
半導體產業相關應用
。化學品輸送系統
。化學容器
。清洗設備零件
PEI
高階工程塑膠螺絲
聚醚酰亞胺
特性
  • 長期使用溫度約為 170 ~ 180°C
  • 高耐熱性、優異電氣性能
  • 尺寸一致性高、翹曲風險低
  • 低煙、低毒性
半導體產業相關應用
。晶圓定位治具
。測試設備零件
。高潔淨設備結構件
RENY
高階工程塑膠螺絲
MXD6尼龍
特性
  • 長期耐熱約 150 ~ 170°C
  • 在同級工程塑膠中具接近金屬的剛性
  • 適合長尺寸、薄壁或高精度結構件
  • 高玻纖比例下尺寸穩定性佳
半導體產業相關應用
。搬運機構零件
。線性滑軌零件
。固定支架
PTFE
高階工程塑膠螺絲
聚四氟乙烯
特性
  • 長期使用溫度約為 -200 ~ +250°C
  • 極佳耐化學性、極低摩擦係數與不 沾黏
  • 幾乎耐所有酸、鹼、有機溶劑
  • 高低溫下性能穩定、不脆化
半導體產業相關應用
。化學輸送管
。閥件密封
。潔淨化學輸送管
。製程槽內襯
PFA
超高性能工程塑膠螺絲
四氟烷氧基樹脂
特性
  • 長期使用溫度約 260°C
  • 幾乎不受酸、鹼及溶劑腐蝕
  • 低析出、低污染
  • 可射出、擠出成型
半導體產業相關應用
。化學藥液輸送設備
。濕製程設備
。晶圓清洗設備
PI
超高性能工程塑膠螺絲
聚醯亞胺
特性
  • 可長期使用於約 300°C，短時間可耐更高溫度
  • 具優異機械性能，可承受高負載
  • 適用於長壽命機械零件
  • 適用於真空及航太環境
半導體產業相關應用
。蝕刻設備絕緣件
。高溫載具與支撐件
。晶圓夾持治具
PBI
超高性能工程塑膠螺絲
聚苯並咪唑
特性
  • 長期使用溫度約 310°C，短時間可耐熱到 400°C
  • 低放氣特性-適合真空與航太應用
  • 適用於高溫滑動與摩擦部件
  • 適用於高溫電氣環境
半導體產業相關應用
。真空設備零件
。高溫製程設備
。測試治具與定位元件

主要應用
晶圓製造設備
掃描顯影機、蝕刻機、離子植入機中的零組件使用耐腐蝕、耐高溫塑膠螺絲以延長壽命並保持潔淨度。
晶圓載具與製程夾具
使用PEEK、PEI、PPS等製作晶圓盒（FOUP）、晶圓卡盤、熱處理載具等。
IC封裝與測試設備
塑膠測試座、載板、熱壓模具等元件要求高耐熱、絕緣與尺寸穩定性。
先進封裝、EUV製程需求

隨著EUV微影與先進封裝的發展，對高純度、無離子釋放、低粒子發生的高端塑膠需求也快速成長。
如：低金屬離子含量PEEK、PI材料

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